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半导体设备氦检漏仪氦检漏仪是半导体设备中用来检查组件或系统之间是否有漏氦的仪器，它利用比样品中漏氦多或比空气中漏氦少的特性，来检测漏性损伤，从而探测漏气等不同缺陷，从而对元件的可靠性进行验证。该设备一般具有分辨率高、精度高、测试时间短、灵敏度高，多重气体检测功能等特点。什么是氦检漏仪氦检漏仪是半导体设备中用来检查组件或系统之间是否有漏氦的仪器，它利用比样品中漏氦多或比空气中漏氦少的特性，来检测漏性