半导体设备氦检漏仪

氦检漏仪是半导体设备中用来检查组件或系统之间是否有漏氦的仪器，它利用比样品中漏氦多或比空气中漏氦少的特性，来检测漏性损伤，从而探测漏气等不同缺陷，从而对元件的可靠性进行验证。

该设备一般具有分辨率高、精度高、测试时间短、灵敏度高，多重气体检测功能等特点。

氦检漏仪是半导体设备中用来检查组件或系统之间是否有漏氦的仪器，它利用比样品中漏氦多或比空气中漏氦少的特性，来检测漏性损伤，从而探测漏气等不同缺陷，从而对元件的可靠性进行验证。

氦检漏仪一般具有分辨率高、精度高、测试时间短、灵敏度高，多重气体检测功能等特点。

氦检漏仪主要用于半导体行业，可用于检测半导体芯片、电子组件、单元组件、机械部件等一系列表面漏洞、漏气等缺陷。

氦检漏仪比传统的检查方法具有检测速度快、漏洞小、抗干扰性好、检测灵敏度高等优势。