氦质谱检漏仪里有检漏仪专用分子泵机械泵或者干泵定制检漏仪专用电磁阀内置标准漏口放大器采用质谱专用模块。
氦质谱检漏仪主要是进行气密性检漏的,检真空设备、电子元器件等。


氦质谱检漏仪的工作原理是在电子的轰击下会产生带电粒子,带电粒子在电场的作用下获得能量做加速动力,而在磁场的作用下将做圆周运动。
最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s漏率显示范围:1×10-3~1×10-12Pa·m3/s启动时间:≤5min响应时间:检漏口最高压力:300Pa极限真空:5×10-4Pa外.最。
氦质谱检漏是指从真空腔体外部用氦气吹向被检测部位,然后由连接在真空腔体上的氦质谱检漏仪来检测侵入的氦气,这是目前最为常用的真空检漏方式。
氦质谱检漏仪哪个品牌最好?用于检验真空镀膜机的泄露情况~~感谢
大品牌的,德国莱宝,法国阿尔卡特,英国爱德华的大品牌的,德国莱宝,法国阿尔卡特。
将真空泵,氦检机,要检测的对象,用波纹管和卡箍连接完毕.2,氦检机上的阀门处于导通的状态.3,氦检机通电,3分钟后完成自检,进入”READYTOSTART”4。
氦检是利用氦质谱检漏仪以氦气作为示踪气体进行检漏的技术,主要通过质谱仪将气体分子电离,让带电离子在磁场作用下偏转,不同质荷比的离子偏转半径不同。