氦质谱检漏仪里有检漏仪专用分子泵机械泵或者干泵定制检漏仪专用电磁阀内置标准漏口放大器采用质谱专用模块。
氦质谱检漏仪主要是进行气密性检漏的,检真空设备、电子元器件等。
氦质谱检漏是指从真空腔体外部用氦气吹向被检测部位,然后由连接在真空腔体上的氦质谱检漏仪来检测侵入的氦气,这是目前最为常用的真空检漏方式。

将真空泵,氦检机,要检测的对象,用波纹管和卡箍连接完毕.2,氦检机上的阀门处于导通的状态.3,氦检机通电,3分钟后完成自检,进入”READYTOSTART”4。
汽车空调系统常用的检漏设备:检漏设备包括卤素检漏灯、染料检漏器、荧光检漏仪、电子检漏仪、氦质谱检漏仪、超声波检漏仪等。
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。
