氦质谱检漏仪里有检漏仪专用分子泵机械泵或者干泵定制检漏仪专用电磁阀内置标准漏口放大器采用质谱专用模块。
六种检漏方法1检漏方法吸枪测试法吸枪测试法是通过正压的方法定位泄漏点。首先,氦气检漏仪向测试部件内充入一定压力的探测气体。
氦检真空箱:气动电磁阀GSR、CKD等、管路接头(要用紫铜垫圈)密封性一定要好,真空泵尽量选国外知名品牌,如爱发科或莱宝。

首先将仪器调整好,再将器件放入加压罐内压入氦气,氦气进入有漏孔的器件内部,无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。
L200+检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧,位于隔热板的上方:检漏仪测试口与阀门组块的连接部位,密封方式采用胶灌密封。
氦质谱检漏是指从真空腔体外部用氦气吹向被检测部位,然后由连接在真空腔体上的氦质谱检漏仪来检测侵入的氦气,这是目前最为常用的真空检漏方式。
负电晕放电检测仪用高频负电晕脉冲连续放电,引起探测器二极管产生电晕放电,当大气中有S6气体时,探头借助真空泵的吸力将S6气体吸进并进入探测器。
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气体管道测漏仪用的是氦气体。

采用氦气检漏仪可以确定气体分配管道、槽、气柜和存储或传输气体的任何设备内的泄漏位置。
(处理方法不同的密封部位出现泄漏采用不同的处理方法。检漏接口与阀门组块的连接部位有漏,可先采用灌胶密封处理,若密封性仍不能满足要求。
氦检机上的阀门处于导通的状态.3,氦检机通电,3分钟后完成自检,进入”READYTOSTART”4,先启动真空泵,再按氦检机上的”START/STOP”按钮,启动。
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氦检是利用氦质谱检漏仪以氦气作为示踪气体进行检漏的技术,主要通过质谱仪将气体分子电离,让带电离子在磁场作用下偏转,不同质荷比的离子偏转半径不同。